NiCr 80:20 por ciento en peso de objetivos de pulverización catódica

Introducción

En la industria de recubrimientos, la pulverización catódica de níquel-cromo tiene como objetivo objetivos de aleaciones binarias y las películas se utilizan ampliamente en películas de fortalecimiento de superficies, como resistencia al desgaste, reducción del desgaste, resistencia al calor y resistencia a la corrosión, así como vidrio de baja emisividad (low-E), microelectrónica, magnético En las industrias de alta tecnología, como la grabación, los semiconductores y la resistencia de película delgada, el proceso de tratamiento térmico afecta significativamente la estructura de fase y la microestructura de la aleación.

La microestructura y la composición de microdominios de las aleaciones de Ni-Cr son sensibles al proceso de tratamiento térmico. En el rango de 1000-1200 grados Celsius, el contenido atómico de Ni en la fase BCC cambia del 5 al 30 por ciento. Se propone un proceso de tratamiento térmico de homogeneización adecuado para obtener objetivos de aleación de Ni-Cr de alta calidad con estructura y composición relativamente uniformes. Cuando el contenido atómico del elemento Ni es del 20 por ciento -70 por ciento, el tratamiento térmico de homogeneización es adecuado entre 1200-1300 grados Celsius, y el tiempo de recocido de homogeneización varía con la selección de la temperatura de recocido, y varía en el rango de 2-24H. Con base en la teoría de la colisión en cascada aleatoria y el método de Monte Carlo, los resultados de la simulación de la interacción entre los iones incidentes y el sólido objetivo de la aleación de Ni-Cr en la pulverización con haz de iones muestran que las energías superficiales atómicas de Ni y Cr son relativamente cercanas. , La composición del producto de pulverización catódica del objetivo de aleación de Ni-Cr no se desvía significativamente de la composición del objetivo, lo que es beneficioso para la selección de la composición del objetivo y el control de la composición de la película.

El tiempo de recocido de homogeneización varía con la temperatura de recocido y varía dentro del rango de 2-24h. En general, bajo la premisa de garantizar la uniformidad de la estructura y la composición, cuanto mayor sea la temperatura del tratamiento térmico, menor será el tiempo de tratamiento térmico requerido; por otro lado, con el fin de asegurar la uniformidad de la estructura y la composición Para evitar un crecimiento excesivo del grano, la temperatura de envejecimiento en la etapa final del tratamiento térmico real no debe seleccionarse demasiado alta. La película de nicromo tiene una alta resistividad y un coeficiente de resistencia a baja temperatura. Tiene las características de alto coeficiente de sensibilidad y pequeña dependencia de la temperatura, por lo que a menudo se usa en la preparación de galgas extensiométricas de resistencia de película delgada.

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